测试气体

氢气、氦气、空气、氮气等

气体温度范围(℃)

[-30℃，80℃]

气体入口最大压力（bar）

20bar（A）

驱动流量入口最大流量(SLPM)

2000SLPM

引射流最大流量(SLPM)

2000SLPM

内腔体最大工作压力(bar)

10bar（用户根据设定泄压范围）

回流最大流量压损(Kpa)

12KPa@（氢气，1500SLPM,2.5bar，25℃）

流量测量精度

0.5%

流量响应时间

<4s

压力波动量

<1KPa

流量波动量

<1SLPM

尺寸(mm*mm*mm)

800*710*1900